格創(chuàng)東智Stocker:覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲,推動良率&效率雙提速
在半導(dǎo)體工廠的潔凈車間里,一臺格創(chuàng)東智Stocker(晶圓存儲立庫)正以2m/s的速度,將裝有晶圓的FOUP/POD載具搬入目標(biāo)Shelf(儲位)。與此同時,它通過SECS/GEM協(xié)議與MES/MCS系統(tǒng)實時聯(lián)動,自動更新物料狀態(tài);當(dāng)檢測到庫內(nèi)氧濃度波動時,N2Purge系統(tǒng)自動啟動,將環(huán)境參數(shù)拉回“安全范圍”……
如今的半導(dǎo)體Stocker,早已不是簡單的“物料倉庫”,而是集全流程自動化、系統(tǒng)協(xié)同調(diào)度、高潔凈控制于一體的產(chǎn)線核心樞紐,直接影響著晶圓良率、生產(chǎn)效率與制造成本。
Stocker的產(chǎn)線價值:
從“存儲設(shè)備”到“良率&效率加速器”
格創(chuàng)東智Stocker可直接為產(chǎn)線帶來“良率提升、效率優(yōu)化、成本降低”三大核心收益,成為推動半導(dǎo)體智能制造的加速器。
1、提升晶圓良率
Class100潔凈度自主可控:格創(chuàng)東智Stocker可穩(wěn)定維持Class100潔凈環(huán)境,非接觸式供電、光通訊等方式的采用進(jìn)一步滿足高潔凈等級無塵環(huán)境使用要求。對比傳統(tǒng)倉儲,晶圓存儲期間的微粒污染率大大降低
≤0.5G低震防損傷設(shè)計:采用高可靠性結(jié)構(gòu)設(shè)計,將振動控制在≤0.5G(先進(jìn)型號可至≤0.35G),配合軟質(zhì)耐磨的載具卡槽,大幅降低晶圓裂片率,解決存儲過程中晶圓“隱性損傷”問題。
7×24小時無人化存?。焊駝?chuàng)東智Stocker集成高精度機(jī)械臂(定位精度±0.05mm)與RFID/視覺識別系統(tǒng),支持7×24小時不間斷運行,同時避免人員進(jìn)出帶來的污染風(fēng)險。
2、優(yōu)化生產(chǎn)效率
半導(dǎo)體產(chǎn)線的“機(jī)臺閑置”是最大的效率浪費,而格創(chuàng)東智Stocker通過“緩沖調(diào)節(jié)”與“動態(tài)調(diào)度”,有效解決這一問題:
平衡工序產(chǎn)能差:當(dāng)光刻、刻蝕等前道工序產(chǎn)能高于封裝測試時,Stocker可臨時存儲半成品晶圓,避免前道設(shè)備因“物料堆積”停機(jī);反之,當(dāng)后道工序需求激增時,Stocker可快速釋放物料,確保后道設(shè)備滿負(fù)荷運行;
數(shù)據(jù)驅(qū)動調(diào)度:基于MES/MCS系統(tǒng)的數(shù)據(jù),Stocker可提前準(zhǔn)備待加工料盒,通過OHT/AGV精準(zhǔn)對接機(jī)臺LoadPort,減少機(jī)臺等待物料時間,提高設(shè)備稼動率。
3、降低綜合成本
人力成本節(jié)?。篠tocker單次物料存取效率是人工操作的4倍,單條產(chǎn)線可減少3-5名倉儲操作人員,人力成本顯著下降;
節(jié)能設(shè)計降成本:采用變頻風(fēng)機(jī)、動態(tài)補氣等技術(shù),單臺Stocker年耗電量、N2 PurgeStocker年消耗氮氣量都會降低。
四大核心優(yōu)勢:
格創(chuàng)東智Stocker以技術(shù)與服務(wù)構(gòu)建護(hù)城河
作為國內(nèi) Stocker 領(lǐng)域 “研發(fā)最早、出貨最多” 的企業(yè),格創(chuàng)東智憑借技術(shù)、產(chǎn)品、交付、系統(tǒng)四大優(yōu)勢,構(gòu)建起難以復(fù)制的行業(yè)護(hù)城河。
1、技術(shù)領(lǐng)先,打破高端存儲設(shè)備壟斷
作為TCL戰(zhàn)略孵化的工業(yè)智能解決方案提供商,格創(chuàng)東智于2024年通過戰(zhàn)略收購成立旗下新公司——格創(chuàng)維晟,構(gòu)建了完整的AMHS產(chǎn)品體系,并在國內(nèi)首發(fā)生產(chǎn)、交付TowerStocker和N2 PurgeStocker,填補了國產(chǎn)高端存儲設(shè)備的技術(shù)空白。未來,格創(chuàng)東智將繼續(xù)優(yōu)化Stocker的技術(shù)參數(shù),如提升搬運效率、定位精度及安全冗余等,滿足半導(dǎo)體產(chǎn)線對于規(guī)?;c自動化升級的需求。
2、全場景設(shè)備矩陣,覆蓋半導(dǎo)體全流程智能存儲
為覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲需求,格創(chuàng)東智提供晶圓盒存儲設(shè)備(Normal Stocker)、塔式跨樓層存儲設(shè)備(TowerStocker)、光罩盒存儲設(shè)備(Reticle Stocker)、氮氣填充存儲設(shè)備(N2 PurgeStocker),以及空中緩存單元(OHB)、緩沖存儲設(shè)備(NTB)等配套設(shè)備。同時,可選配人工口/天車口/AGV口/AutoTeaching等,通過精細(xì)化的軟硬件模塊組合和專用配置工具,快速響應(yīng)客戶定制化存儲需求。
3、極速交付+7*24服務(wù),保障產(chǎn)線快速落地與穩(wěn)定運行
憑借深厚的半導(dǎo)體行業(yè)Know-How、強(qiáng)大的供應(yīng)鏈支撐、專業(yè)的項目交付團(tuán)隊及安裝施工團(tuán)隊,格創(chuàng)東智Stocker可最快2.5個月設(shè)備交貨、3個月內(nèi)完成安裝調(diào)試交付,較國際品牌(平均6-8 個月)縮短 50% 以上。同時建立全天候服務(wù)機(jī)制,客戶反饋問題最快2小時內(nèi)響應(yīng),4小時內(nèi)到場維護(hù)。
4、CIM+AMHS深度聯(lián)動,驅(qū)動整廠全自動化
區(qū)別于單一設(shè)備供應(yīng)商,格創(chuàng)東智提供“AI+CIM+AMHS”整體解決方案,一站式提供物料自動化上下游系統(tǒng),包括MES、RTS、MCS、RTD、OHT、Stocker等,避免多廠商設(shè)備接口不兼容、數(shù)據(jù)不通暢問題;同時通過軟硬融合、整廠管控,實現(xiàn)“存儲-搬運-生產(chǎn)”全鏈路數(shù)據(jù)打通,助力工廠實現(xiàn)無人化、高效化運營。
應(yīng)用場景:
格創(chuàng)東智Stocker覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲需求
從晶圓制造到封裝測試,不同環(huán)節(jié)對存儲的需求各有側(cè)重,格創(chuàng)東智Stocker通過“標(biāo)準(zhǔn)版+定制款”的產(chǎn)品矩陣,實現(xiàn)全場景覆蓋。
前道晶圓制造
Inter-Bay Stocker:部署于車間主通道,作為全廠晶圓調(diào)度緩沖中心,支持OHT天車跨區(qū)域轉(zhuǎn)運。
N2 Purge Stocker:服務(wù)于曝光區(qū)、刻蝕區(qū)等關(guān)鍵機(jī)臺群,維持氧濃度和高潔凈度,保護(hù)敏感晶圓。
后道封裝測試
載具多樣化存儲:覆蓋Cassette、Tray盤、Maskpackage等多種載具,支持SIP、Fan-Out等先進(jìn)封裝。
測試回流緩存:高效管理測試分揀(Sorting)后的多次回流路徑,避免混料。
車規(guī)/特殊材料存儲
車規(guī)器件存儲:定制防靜電、低溫除濕等模塊,提高芯片可靠性。
光罩存儲:采用防紫外線腔體+獨立氮氣回路,避免光刻圖案老化或污染。
成功案例:50+客戶驗證的實踐成果
格創(chuàng)東智憑借“軟件+硬件+算法”三位一體的AMHS方案,已累計服務(wù)超過50個半導(dǎo)體客戶,其中不乏行業(yè)頭部企業(yè),覆蓋前道晶圓制造、后道封測全場景。
晶圓制造領(lǐng)域
某頭部12英寸晶圓廠,格創(chuàng)東智交付的Stocker自動化存儲方案不僅滿足了高潔凈度、高安全性需求,更以“15天交付首臺設(shè)備”的速度刷新了行業(yè)紀(jì)錄。針對客戶特殊存儲需求,格創(chuàng)東智自研的N2PurgeStocker氮氣填充立庫,能實時維持百級超凈環(huán)境,抗震設(shè)計<0.5G,還可以通過自動掃碼與AGV聯(lián)動實現(xiàn)“黑燈操作”,有效保障了先進(jìn)制程晶圓的存儲品質(zhì)與生產(chǎn)效率。
封裝測試領(lǐng)域
在某頭部封測企業(yè),格創(chuàng)東智結(jié)合其物流數(shù)字化升級的需求,提供了包含MCS、RTD、Stocker在內(nèi)的一站式軟硬件方案,打造整廠無人化物流體系。通過Stocker與OHT、AGV的協(xié)同調(diào)度,以及與MES系統(tǒng)的實時數(shù)據(jù)交互,實現(xiàn)了物料從入庫、存儲、調(diào)度到出庫的全流程自動化,成為封測行業(yè)規(guī)?;瘧?yīng)用自動化的典范。
從填補國產(chǎn)高端Stocker技術(shù)空白,到實現(xiàn)50+行業(yè)客戶的實踐驗證;從保障前道先進(jìn)制程晶圓存儲安全,到支撐后道封測多場景柔性生產(chǎn),格創(chuàng)東智Stocker始終以“技術(shù)自主可控、場景深度適配、服務(wù)高效響應(yīng)” 為核心,將單一存儲設(shè)備升級為驅(qū)動產(chǎn)線良率與效率雙提升的核心樞紐。
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高制程、更柔性生產(chǎn)的當(dāng)下,格創(chuàng)東智將持續(xù)以“AI+CIM+AMHS”整體解決方案為抓手,不斷優(yōu)化Stocker的技術(shù)性能與場景適配能力,從存儲環(huán)節(jié)出發(fā),串聯(lián)起半導(dǎo)體制造全流程的自動化與智能化升級,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破國際技術(shù)壁壘、實現(xiàn)自主可控高質(zhì)量發(fā)展注入堅實動力。
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